化學氣相沉積設備常見溫控痛點
隨著晶圓尺寸日益增大，無論是垂直式或水平式的反應爐管，其尺寸也都日趨加大。再加上爐管中的多重介質、氣體與流速等複雜因素，整個系統的溫度非線性特性與加熱延遲現象更加明顯，這使得精準掌握測溫與控溫更具挑戰性。
此外，由於 CVD 設備的爐管反應腔體積相當大，溫度傳感器安裝位置與實際化學反應的位置通常會有一定距離，且加熱爐管的工作溫度範圍可高達 1,000°C，考量到溫度感測器的非線性特性，如僅以簡易的偏移誤差 (Offset Error)、增益誤差 (Gain Error) 補償溫差，將無法精密補償所有溫度量程的誤差。
另外，爐管一般具 3 至 5 段的加熱區，為確保各加熱段能快速升溫至目標溫度且不超溫，對控制器的反應速度與精準度的要求將更趨嚴格。在如此大型的加熱爐管中，所需要關注的參數可能多達數千筆，如何在設備前端針對溫度參數進行高效監控與即時報警，並確保穩定且均勻地加熱，將是設備製造商的一大挑戰。