射頻電源供應器 1.5kW / 13.56MHz

1.5kW 射頻電源

台達射頻電源供應器適用於各種電漿製程。快速的響應時間，面對腔體的阻抗劇烈變化，仍有出色的等離子穩定性。全數位控制設計達到高電源輸出解析度，滿足各種製程功率調控需求，並且提供脈衝功能選擇，改善基板電荷累積，減少電弧，提高製程良率。另外微秒等級的電弧處理，大幅降低製程損害。

產品介紹

產品特色

• 提供單脈衝模式選擇，更多的製程調整參數
• 微秒級電弧處理，提升製程良率
• 全數位控制
• 高輸出解析度
• 高精準度輸出，提升製程重現性

應用領域

電漿設備

濺鍍設備

半導體設備

平面顯示器

工業設備