台達晶圓分選機具備多功能模組、一機多尺寸切換共用等特色。可根據客戶需求及使用環境設計機台，內部傳輸系統可分為皮帶式、手臂式(邊緣夾取式或真空式)，彈性應對各無塵室等級及晶圓表面潔淨度的要求。 因應不同量測需求，共有 8 個功能模組可做搭配選擇，高彈性化的模組設計可滿足客戶多元的檢測需求。
型號: SWST-600-0456-CC-0609 SWST-600-0608-CC-0609 SWSST-120CC-12
彈性選配檢測專案模組，最多可增加 8 個模組： 表面瑕疵、側面瑕疵、IR 孔洞檢測、OCR、平坦度、阻值、邊緣輪廓量測、PN 量測
智慧優勢
動作流程
太陽能晶圓品質篩選
半導體晶圓品質篩選
藍寶石基板 / 玻璃基板品質篩選
搜尋與篩選相關下載文件、支援檔案與軟體。
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