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即時異常預警
整合製程數據與統計規則,異常立即觸發警示,避免批次性缺陷
OCAP 智能應變
自動啟動異常處理流程 (OCAP),標準化應變措施,加速異常排除
Wafer Map 與量測驗證
支援 Lot / Wafer / Die 分析與 GRR 驗證,提升量測數據可靠性
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