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晶圓缺陷 精密檢測
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核心特色
自動光學調適
根據不同摻質、不同光澤度之晶圓,系統可自動調整至適合檢測之光源來對應
深度檢測系統
預測並確認缺陷的深度位置,進一步檢視並定義缺陷大小,以實現精準判定
AI 複判
軟體演算法結合導入 AI 複判系統,使缺陷判定更精準
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IR 孔洞檢查機
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