高壓直流電源供應器 20kW / 1200V

20kW 高壓直流電源

台達高壓直流電源供應器符合濺鍍系統的嚴格要求。最高1900V 點火電壓可滿足特殊靶材或低真空壓力濺鍍應用。內建接地雜訊抑制技術，避免周邊設備互斥干擾。以FPGA 來實現微秒電弧的檢測，可管理電弧能量低於1mJ/1kW，降低電弧對於薄膜品質的影響。產品具備工業安全認證與環保規章，產品安全可靠。

產品介紹

產品特色

• 最高1900V 點火電壓 ( 連續且可調)
• 特殊點火程序設計，適用於低真空濺鍍和特殊靶材應用
• 最高1000V / 50A / 20kW 寬輸出範圍
• 內建接地雜訊抑制技術，降低設備互斥干擾
• 高效能轉換
• 領先業界90% 高轉換效率，卓越環保節能表現

應用領域

電漿設備

濺鍍設備

半導體設備

平面顯示器

工業設備