脈衝直流電源供應器 10kW / 1000V

10kW 脈衝直流電源

台達高壓脈衝直流電源供應器符合濺鍍系統的嚴格要求。最高1900V 點火電壓及易點燃特性滿足特殊靶材或低真空壓力濺鍍應用。直流脈衝輸出可降低電弧發生率，提升薄膜品質，支援最高400kHz 脈衝頻率。內建接地雜訊抑制技術，可避免周邊設備互斥干擾。可管理電弧能量低於200uJ/1kW，降低電弧對於薄膜品質的影響。產品通過多項工業安全認證與環保規章，品質安全可靠。