高壓直流電源 20kW 輸出功率 台達高壓直流電源供應器符合濺鍍系統的嚴格要求。最高1900V 點火電壓可滿足特殊靶材或低真空壓力濺鍍應用。內建接地雜訊抑制技術，避免周邊設備互斥干擾。以FPGA 來實現微秒電弧的檢測，可管理電弧能量低於1mJ/1kW，降低電弧對於薄膜品質的影響。產品具備工業安全認證與環保規章，產品安全可靠。
搜尋與篩選相關下載文件、支援檔案與軟體。
如果您有任何問題歡迎透過線上表單與我們反應 或詢問
高壓直流電源