脈衝直流電源

脈衝直流電源
1.5kW / 10kW 輸出功率

台達高壓脈衝直流電源供應器符合濺鍍系統的嚴格要求。最高1900V 點火電壓及易點燃特性滿足特殊靶材或低真空壓力濺鍍應用。直流脈衝輸出可降低電弧發生率，提升薄膜品質，支援最高400kHz 脈衝頻率。內建接地雜訊抑制技術，可避免周邊設備互斥干擾。可管理電弧能量低於200uJ/1kW，降低電弧對於薄膜品質的影響。產品通過多項工業安全認證與環保規章，品安全可靠。

產品介紹

產品特色

• 5kHz 至400kHz 寬輸出可調脈衝頻率範圍，提升薄膜品質
• 內建接地雜訊抑制技術，降低設備互斥干擾
• 最高1900V 點火電壓 ( 連續且可調)
• 特殊點火程序設計，適用於低真空濺鍍和特殊靶材應用
• 正壓50V-100V 可調，可隨製程條件優化設定
• 最高1000V / 4.62A / 1.5kW 輸出範圍
• 領先業界90% 高轉換效率，卓越環保節能表現

技術規格

1.5kW 脈衝直流電源


10kW 脈衝直流電源