2024/10/8
半導體CoWoS先進封裝設備業者大量科技,採用台達DIASECS-GEM軟體解決方案、導入微型線馬致動器LPL,強化晶圓製造供應鏈
半導體產業是現代科技與經濟發展的基石,推動智能手機、人工智慧、5G、物聯網、自動駕駛等各領域的創新。在半導體製造業中,從光刻、蝕刻、沉積到測試等精密工序相關半導體設備至關重要。隨著半導體技術的發展,先進製程對設備的精度、自動化和通訊能力提出更高要求,半導體設備不僅是產業競爭力的關鍵,更是驅動技術創新和良率提升的核心動力。
為實現數據整合和高效生產,透過標準化的通訊協議,如 SECS/GEM、GEM 300、Interface A,可以使設備與上位系統能夠無縫協作,進行實時監控、數據收集、遠端操作和精確控制。SECS/GEM 是國際半導體設備及材料協會 SEMI 制定的全球性設備通訊標準;GEM 300 通訊則基於 SECS/GEM 再進一步擴展,主要應用於 300 毫米晶圓製造廠,以標準化通訊協議和接口,實現高效、穩定的生產自動化。
尋求台達SECS/GEM軟體解決方案的契機
大量科技 (Ta Liang Technology) 是一家總部位於台灣桃園的半導體產品檢測設備商,主要研發及銷售 Metrology 量測、AOI 自動光學檢測、Automation 自動化等設備,產品線廣泛涵蓋前端至後端製程,目前也有切入 Chip-on-Wafer-on Substrate (CoWoS) 封裝製程。近幾個月,為因應日益增長的先進封裝製造需求,大量科技採用台達 DIASECS-GEM 軟體解決方案,提供終端用戶符合 SECS/GEM 標準、升級 GEM 300 的半導體設備。
台達 DIASECS-GEM 軟體解決方案具備 Library 函式庫,支援 GEM 300 標準,產品會自動轉成符合標準 GEM 訊息格式,無須特別理解特定訊息格式,大量科技的新進軟體開發人員也能快速上手。函式庫不僅易於使用,且可彈性化客製開發,滿足各式應用需求。此外,台達也投注許多心力優化 DIASECS-GEM 軟體介面設計,從用戶體驗、實用性和功能性三方面著手,也不斷收集來自大量科技的建議反饋,根據實際需求對介面進行快速迭代,提供更加易用、美觀、高效的軟體介面。大量科技營運長李賢銘 Gary 表示:「台達 SECS 團隊的軟體介面做的很好,不論是在功能模組、配色、字體字元大小上,都有考慮到使用者的每一個操作步驟,讓我們後續可以更快、更容易做到協同開發,以推出兼具一致及完整性的介面。」
多元加值服務,深化雙方長期合作關係
台達除協助大量科技迅速將 SECS/GEM 標準導入半導體設備,亦安排技術支援工程師至現場進行培訓課程,涵蓋軟體安裝與配置、產品技術知識、問題解決與故障排除、軟體開發與維護等。經一系列訓練課程及技術交流,大幅加快了大量科技的設備驗證測試及出貨時間,助力終端晶圓製造商提升生產規模和良率。
半導體製程技術日新月異,SECS/GEM 標準也不斷更新,製造商需持續投入,確保設備跟上最新技術要求。作為工業自動化領導廠商的台達,因應標準更新,持續不斷將自家 SECS/GEM 軟體產品推陳出新,滿足先進製造和設備管理需求。Gary 補充:「台達提供我們 SECS/GEM 升級的基本架構,不僅有利於雙方接軌,更能加速學習曲線 Learning Curve。」
助半導體產業創造更多價值,提升市場競爭力
除 DIASECS-GEM 軟體,大量科技亦採用台達微型線馬致動器 LPL 系列於半導體入料檢測設備。過去搭配日本的中空馬達方案,長期使用下來發生 R 軸精度跑偏問題。為符合半導體大廠需求,同時達到 Z 軸及 R 軸的速度精度控制,大量科技導入台達微型線馬致動器 LPL 系列,LPL 整合線性馬達、線性編碼器、滑軌等機構成一體式模組,不僅控制精度高、體積小、容易安裝,更能完美的呈現客戶的檢測需求。
台達 DIASECS-GEM 軟體解決方案的標準化通訊協定和設備控制功能、微型線馬致動器 LPL 系列的高精高速和平穩運動控制,加乘半導體設備供應商的關鍵技術及整合能力,幫助終端晶圓廠解決製程繁複、底層設備繁多、資訊整合不易等難題,達到智能高效的生產需求。